Мишень для распыления алюминия и скандия

Название: мишень для распыления AlSc

Номер CAS: 7429-90-5 / 7440-20-2

Формула: Al-Sc (Al: Sc=80: 20 ат.%, Al: Sc=70: 30 ат.% Или составы по индивидуальному заказу)

Чистота: 99,9% -99,99%

Размер: диаметр 6 дюймов x 0,125 дюйма или на заказ

Производственный процесс:

Вакуумно-индукционная плавка VIM

Обработка с ЧПУ до размеров

Прикрепление индия к опорной пластине из бескислородной меди

Мишень для распыления алюминия и скандия представляет собой материал для пленочного покрытия, изготовленный из сплава алюминия и скандия. Следовательно, они имеют схожие физические и химические характеристики.

Применение:

Мишени для распыления AlSc использовались для покрытия переборок самолетов и крыльев, а сплавы AlSc использовались в различных вращающихся и движущихся механизмах, а также в топливе и выхлопных системах. Продукция из алюминиево-скандиевого сплава имеет большой потенциал в аэрокосмической промышленности.

Обладая выдающимися характеристиками низкой плотности, но высокой прочности, алюминиево-скандиевый сплав является предпочтительным продуктом для внешнего корпуса электронных продуктов. Кроме того, использование алюминиево-скандиевых мишеней для покрытия поверхности из других материалов также улучшает прочность и долговечность корпуса. Помимо корпуса электроники, мишени для распыления из алюминиево-скандиевого сплава также используются для внутренних компонентов, таких как покрытие полупроводниковых кристаллов и датчика.

Применение мишени для распыления AlSc на МЭМС:

По мере того, как мы переходим к новой эре 5G / 6G, помимо полосы пропускания и скорости передачи данных, еще одним важным параметром является целостность сигнала, для которой требуется высокое значение Q. Значение Q связано с пьезоэлектрическими свойствами тонкопленочных материалов, используемых в приложении. В настоящее время используются сплавы AlSc с различным содержанием Sc, с более высоким содержанием Sc, что приводит к более высоким пьезоэлектрическим характеристикам.

Тонкопленочные пьезоэлектрические материалы AlSc все чаще используются в автомобильных, промышленных и персональных электронных устройствах. Приложения включают датчики отпечатков пальцев на основе PMUT и устройства распознавания жестов, микрофоны MEMS, химические датчики на основе резонаторов и медицинские датчики. Кроме того, пленки нитрида алюминия, легированного скандием, становятся все более необходимыми для использования ВЧ-фильтров для сетевых приложений 5G.

FAQs:

Что такое мишень для распыления?

Мишень для распыления - это материал, который используется для создания тонких пленок в технике, известной как напыление или осаждение тонких пленок. Большинство материалов мишеней для распыления представляют собой металлические элементы или сплавы, хотя есть некоторые керамические мишени, которые создают затвердевшие тонкие покрытия для различных инструменты.

Распыление - это технология, используемая для формирования тонкой пленки на кремниевой пластине, стекле или другой подложке. В состоянии вакуума, поддерживаемом в распылительной машине, распыляемая мишень бомбардируется ионами аргона. Это вызывает испускание атомов или молекул из мишени для распыления. Атомы или молекулы осаждаются и образуют тонкую пленку на подложке. Мишень для распыления является объектом ионной бомбардировки во время распыления.

Для чего используется мишень для распыления алюминия и скандия?

Мишень для распыления AlSc представляет собой материал для пленочного покрытия, изготовленный из алюминиево-скандиевого сплава. Он используется для создания тонкой пленки из алюминия и скандия, которая обещает высокую пьезоэлектрическую постоянную, примерно в десять раз выше, чем у обычного сплава AlN. Высококачественная мишень для распыления из Al-Sc является важным материалом для создания объемных акустических волн (BAW).

http://ru.scandiumetal.com/